Hoe selecteert u de juiste FFU voor ISO-klasse 5, 6, 7, 8 cleanrooms?
ISO 14644-1 Cleanroom-classificatie begrijpen
ISO 14644-1 is de internationaal erkende norm voor classificatie van de luchtzuiverheid in cleanrooms. Het verdeelt cleanrooms in klassen van ISO 1 tot ISO 9 op basis van de concentratie van zwevende deeltjes.
De reinheidsklasse wordt bepaald door de maximaal toegestane concentratie deeltjes bij specifieke groottes. Een cleanroom van ISO-klasse 5 vereist bijvoorbeeld dat de concentratie van deeltjes groter dan of gelijk aan 0,5 μm niet groter is dan 3.520 deeltjes per kubieke meter.
In de praktijk moeten cleanrooms worden geverifieerd in een van de volgende drie bezettingstoestanden:
As-built: Faciliteit voltooid, geen apparatuur of personeel
In-rust: apparatuur geïnstalleerd en in werking, geen personeel
Operationeel: apparatuur die werkt terwijl personeel werkt-dit is de meest realistische verificatiestatus
ISO-klasse 5-8 Deeltjesconcentratielimieten
Hieronder vindt u de kernspecificaties voor cleanrooms van ISO-klasse 5 tot en met klasse 8. Deze gegevens vormen de basis voorFFUselectie:
| ISO-klasse | Maximale concentratie Groter dan of gelijk aan 0,5 μm (deeltjes/m³) | Maximale concentratie Groter dan of gelijk aan 5,0 μm (deeltjes/m³) | Typische toepassingen |
|---|---|---|---|
| ISO5 | 3,520 | 29 | Halfgeleiderfabricage, steriele vulling |
| ISO6 | 35,200 | 293 | Medische apparaten, precisiecoating |
| ISO7 | 352,000 | 2,930 | Voedselverpakkingen, laboratoria |
| ISO8 | 3,520,000 | 29,300 | Elektronica-assemblage, algemene productie |
Opmerking: De gegevens in deze tabel vertegenwoordigen cumulatieve concentraties. Voor ISO-klasse 5 omvat de 3.520 deeltjes/m³ bij groter dan of gelijk aan 0,5 μm alle deeltjes groter dan 0,5 μm.
FFU-selectieparameters per ISO-klasse
Gebaseerd op de nieuwste ISO 14644-1:2025-praktijken zijn de FFU-selectieparameters voor verschillende cleanroomklassen als volgt:
| ISO-klasse | FFU-dekking | Gemiddelde luchtstroom (m/s) | Luchtveranderingen per uur (ACH) | Aanbevolen filterkwaliteit |
|---|---|---|---|---|
| ISO5 | 60-80% | 0.35-0.55 | 300-600 | H14 / U15 |
| ISO6 | 40-60% | 0.30-0.45 | 150-300 | H13 / H14 |
| ISO7 | 25-40% | 0.30-0.45 | 60-150 | H12 / H13 |
| ISO8 | 15-25% | 0.30-0.45 | 20-60 | H11 / H12 |
Belangrijkste verklaringen:
FFU-dekking: het deel van het plafondoppervlak dat wordt ingenomen door FFU's. Een hogere dekking maakt hogere reinheidsklassen mogelijk.
Air Changes per Hour (ACH): Het aantal keren dat het totale luchtvolume in de cleanroom per uur wordt vervangen. ISO-klasse 5 vereist 300-600 ACH.
Aanbevolen filterkwaliteit: Gebaseerd op EN 1822-normen.H13-filterseen efficiëntie van meer dan of gelijk aan 99,95% bereiken bij 0,3 μm,H14Groter dan of gelijk aan 99,995%.
Hoe de FFU-hoeveelheid berekenen?
Het berekenen van het aantal FFU's is een cruciale stap bij de selectie. Hier is de standaardformule:
Aantal FFU's=(Cleanroomgebied × doeldekking) / Effectieve dekking per FFU
Praktische voorbeelden :
| Scenario | Berekening | Resultaat |
|---|---|---|
| ISO 5 Halfgeleiderfabriek | Gebied 100㎡ × 70% dekking=70㎡ ÷ 0,65㎡ per FFU | ≈108 eenheden → +15% redundantie →123 eenheden |
| ISO 7 lithiumbatterijfabriek | Gebied 200㎡ × 30% dekking=60㎡ ÷ 0,65㎡ per FFU | ≈92 eenheden → +10% redundantie →101 eenheden |
Waarom redundantie toevoegen?
Voeg 5-10% FFU's toe in gebieden met veel personeelsverkeer
Voeg extra FFU's toe in de buurt van warmtebronnen van apparatuur om verstoringen van de luchtstroom te compenseren
Reserveer 20% reservecapaciteit voor toekomstige upgrades
Welke filterkwaliteit moet u kiezen?
De kern van een FFU is het hoog-efficiënte filter. Volgens de EN 1822-normen hebben verschillende filterkwaliteiten verschillende efficiëntiespecificaties:
| Filterkwaliteit | Efficiëntie (MPPS) | Typische toepassingen |
|---|---|---|
| H13HEPA | 99.95% @ 0.3μm | ISO klasse 6-7 cleanrooms, farmaceutica, ziekenhuizen |
| H14HEPA | 99.995% @ 0.3μm | ISO klasse 5 cleanrooms, steriele vulling |
| U15 ULPA | 99.9995% @ 0.12μm | Halfgeleiderwafelfabrieken, nanotechnologie |
| U16 ULPA | 99.99995% @ 0.12μm | 5nm/3nm-chipproductie |
Selectietips:
Vermijd over-engineering: Het gebruik van H14-filters voor cleanrooms van ISO-klasse 8 verhoogt de weerstand met 25% en verhoogt de energiekosten
Volg de normen: Selecteer de filterkwaliteit die overeenkomt met de door u gewenste cleanroomklasse
Het selecteren van de juiste FFU vereist een uitgebreide overweging van vier kernelementen: cleanroomklasse, FFU-dekking, filterefficiëntie en validatietests. Door de ISO 14644-1-normen te volgen en beslissingen te baseren op daadwerkelijke procesvereisten in plaats van blindelings hogere cijfers na te streven, kunt u optimale reinheid bereiken terwijl u de kosten optimaliseert.
Als u een nieuw cleanroomproject plant of een bestaand systeem moet upgraden, bent u van harte welkomneem contact met ons opvoor professioneel keuzeadvies. Wij bieden FFU's op maat en OEM-services om aan de speciale vereisten van verschillende projecten te voldoen!
